真空元件：分子筛吸附阱

分子筛具有特别大的吸附表面面积，用分子筛吸附来自泵的返流蒸气，效果比无氧铜箔阱要好。一般采用13X型或4A型分子筛，能获得10-8Pa~10-10Pa的超高真空，有效工作时间长达75d。图7-15为玻璃分子筛吸附阱。

金属超高真空系统用的大型分子筛吸附阱的结构如图7-16（a）所示。烘烤后能获得4×10-8Pa的极限真空（使用Octoil-S扩散泵油），在10-7Pa以下工作能维持70d，如图7-16(b)所示。也可利用泵与真空室连接的直角管道壁作为分子筛吸附阱，其结构如图7-17所示。阱内装有13X分子筛250g，经450℃高温烘烤48h后，能获得4×10-8Pa的极限真空。在1×10-7Pa以下工作可以维持2周，6周后压力上升到1×10-6Pa。

用裸规和标准规管同时测量带有分子筛阱的真空室的真空度时，二种规的压力读数会出现较大的偏差（达一个多数量级），此种现象称为贝莱尔(Blears)效应，如图7-18所示。

贝莱尔效应主要是由标准规管的细长管道所引起的。油分子通过细长管道要迟延一段时间（由于油分子的蒸发热比较大，平均滞留时间长），因而标准规管内油蒸气分压达到与真空室油蒸气分压相同值时，需要长达数十小时。

低压下，分子通过导管的迟延时间t为