真空泵之半导体产业介绍

新是企业的成长动能，汉钟精机是一家专业压缩机生产企业，经过多年持续不断地发展和积累，公司在螺杆、涡旋、离心等压缩机领域拥有了雄厚的技术实力。目前，公司主要产品有制冷产品、空气产品、真空产品和热泵产品等，广泛应用于各行各业，其中制冷产品主要包括螺杆压缩机和离心压缩机，主要应用于商用中央空调和冷链物流行业；空气产品主要包括空气压缩机和空压机机体，主要用于工程机械等气源动力行业；真空产品主要应用于光伏、半导体、锂电池、医药化工等行业；热泵主要应用于集中采暖、工业制热等行业。

公司真空产品主要是在螺杆、罗茨等相应技术的研制开发、生产销售及售后服务，目前广泛应用于光伏、生物医药、锂电等等领域。近几年，在光伏、LED半导体等领域已实现大批量供货，尤其在光伏领域，以优异的性价比赢得了较大的市场份额，获得国内多家知名光伏企业青睐和好评。现阶段，半导体产业是公司真空产品重 点发展方向之一，可广泛运用于半导体行业Load Lock、Metrology、PVD、Ashing、ETCH、IPM、CVD、ALD等各制程，是行业重要的真空通用设备之一。

目前，公司具备完整的设计研发团队，可自行开发转子线型模拟软件，分析气体压缩、气导设计、流体力学、机械结构及材料力学等；真空泵的转子、壳体、端板等重要零部件亦可自行加工制造，厂内具备转动平衡、特殊表面薄膜镀层、精密组装、氦气测漏、长时间运转测试等测试设备。同时，利用三次元量测仪器，量测每台真空泵组件的精度，控管并实时修正加工质量，保证产品出厂性能。

经过不断地技术改善和优化，公司真空产品抽气量达到80-7000m3/h，可满足各制程抽气需求。公司具备专业超高精度螺杆设计加工技术，螺杆转子具有更短的抽气路径、更少的密封面，能更有效的处理严苛制程，并延长使用寿命；同时具备半导体专有奈米陶瓷涂层，能更 好的处理腐蚀气体、粉尘及粘稠物质；热氮系统方面，在CVD/ETCH制程中表现出色；双层壳体加冷却系统方面，更能保证转子的均匀降温，减少磨损，增加使用寿命。另外，公司自主研发设计的水冷罐装电机，适用于半导体厂各制程的电压，有效降低电机温度，具备优 秀的密封设计及低噪音优势。公司主要以柔性生产为主，拥有全 球性销售和服务网络，满足客户不同需求。利用公司云端系统服务及公司全天候无休服务理念，进一步提升用户满意度，为客户创造更安心、舒心的使用环境。