博山真空泵市场及应用领域的变化和发展

真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它的确是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的根底产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空，其产品大致可分14大类：

高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。

中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气放射泵。

粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。

真空泵的市场依据用户的需求而发作动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的疾速开展以及干泵和分子泵应用范畴的日益扩展。

目前，全 球真空泵市场的年销售额约20亿美圆，年增长率在7％左右。

我国消费真空泵的厂家很多，全部真空泵的年销售额大约在1、5亿元左右(2015年)，仅相当于美国Kinney公司一家真空泵的年销售额。经过对全 球真空泵市场的剖析我们能够看出，各类真空泵的市场及应用范畴都在不时变化和开展。我国真空泵制造业有着长久的历史和雄厚的根底，国产真泵曾经在各个不同范畴得到应用并经过考证，有些泵还出口国外，得到国外用户的认可并遭到好评，应该说我国真空泵制造业在国内外市场依然有着宏大的开展空间。

1、液环泵

固然液环泵属于粗真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等范畴依然有着很大的市场。在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14％，仅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我国投资建厂或树立销售网络，不时扩展在我国的市场份额。由于液环泵大局部是铸件，加工请求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价钱上有竞争优势，关键是要改良设计，减少体积，减轻重量，进步效率，降低能耗。

2、滑阀泵

由于滑阀泵比拟耐用、牢靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及枯燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻觅协作同伴。为了使国产滑阀泵可以进入国 际市场，必需进一步降低泵的振动噪声，根绝喷油和漏油，进步滑阀泵长期运转的牢靠性。

3、直联旋片泵

随着真空技术在各个应用范畴的不时扩展，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价钱又很低，所以有的国外真空厂商在中国树立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上曾经过关，价钱又远比国外的泵廉价，所以国产泵依然有竞争优势，关键是要处理轴封漏油以及旋片资料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运转牢靠，同时还要进一步进步国产直联旋片泵抽除水蒸气的才能。

4、罗茨泵

从国外罗茨泵消费状况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全 球罗茨泵销售额的比例都没超越5％，这5家合计才20％，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价钱远比国产泵要高得多。目前，国内外简直一 切大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、进步消费效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场根底上设法进入国 际市场，这样就必需进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻 底处理轴封漏油问题，改良泵的外观质量，进步泵内的光亮度和清洁度。另外，还要思索到有些国度和地域的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在进步转速的状况下长期运转的牢靠性。

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵停顿很快，技术上曾经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一局部被冷却的气体经过管道返回泵腔以冷却转子，从而使紧缩热得均衡，所以这种泵能够直排大气。为了满足不同极限真空度的请求，这种泵能够串联运用，普通前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所到达的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实践上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组曾经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动均衡。

5、分子泵

分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场所是用来替代低温泵，特别是溅射、刻蚀和LCVD等安装都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了进步抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜安装上应用，既进步了消费效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研讨事业疾速开展，分子泵应该是我国真空泵制造业开展的重 点。首先，分子泵要从小到大树立完好系列，并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场所的需求。

6、干泵

国外干泵市场的不时增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的疾速开展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵替代油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵替代了油封式机械泵，大大进步了产品的性能和质量。为了满足不同应用范畴和不同工况的请求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还缺乏1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价钱非常昂贵。所以，我国应鼎力研讨开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。